機(jī)械磨樣、氬離子拋光、FIB（聚焦離子束技術(shù)）是常見(jiàn)的三種樣品制樣加工方式，每種樣品制樣加工方式各有優(yōu)缺點(diǎn)，主要如下：

1.手工機(jī)械研磨樣雖價(jià)格便宜可觀察區(qū)域面積大，但由于其受到硬度、延展性等材料性能的影響，做出來(lái)的截面常常有變形、磨痕、脫落、褶皺、熱損傷等特性，產(chǎn)生假象，嚴(yán)重影響分析準(zhǔn)確度，對(duì)厚度測(cè)量，截面觀察帶來(lái)困難。

2.氬離子拋光制樣是利用高壓電場(chǎng)使氬氣電離產(chǎn)生離子態(tài)，產(chǎn)生的氬離子在加速電壓的作用下，高速轟擊樣品表面，對(duì)樣品進(jìn)行逐層剝蝕而達(dá)到拋光的效果?？蛇M(jìn)行截面制備與平面拋光，價(jià)格稍高，但樣品表面光滑無(wú)損傷，加工精度高，界面清晰，鍍層尺寸測(cè)量準(zhǔn)確，還原材料內(nèi)部的真實(shí)結(jié)構(gòu)，用于制備EBSD、CL、EBIC或其它分析制樣。

3.聚焦離子束技術(shù)（FIB）是利用電透鏡將鎵離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面，實(shí)現(xiàn)材料的剝離、沉積、注入、切割和改性，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。雖然價(jià)格昂貴、加工區(qū)域小，但避免了金屬延展、碎屑填充、厚度偏差大的弊端。

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